Messungen mit höchster Präzision

Die an der TU Ilmenau entwickelte NMM-2 ermöglicht hoch präzise Messungen. (Foto: © SIOS Meßtechnik GmbH)
Die Technische Universität Ilmenau ist in bislang unerreichte Dimensionen in der Präzisionsmesstechnik vorgedrungen. Im Rahmen eines EU-Projektes entwickelten Wissenschaftler eine Nano-Koordinaten-Messmaschine mit einer 3D-Messunsicherheit von nur 100 Nanometern, wie die Universität am Freitag in Ilmenau mitteilte.
Die neue Maschine liefert eine fünf Mal so hohe Präzision wie bei den besten derzeit in der Industrie verwendeten Koordinaten-Messmaschinen. Damit wurde nach viereinhalb Jahren
das 10-Millionen-Euro-Projekt der Europäischen Union „Umfassende und flexible Koordinatenmetrologie für die Fertigung von Mikro- und Nano-Komponenten“ („Universal and flexible coordinate metrology for Micro and Nano Components Production – NanoCMM“) erfolgreich abgeschlossen. An dem Projekt arbeiteten 15 Forschungspartner aus Spanien, den Niederlanden, Dänemark, Tschechien und Deutschland zusammen.
Ein Haar aus 5000 Meter Höhe erkennen
Das Institut Prozessmess- und Sensortechnik PMS der TU Ilmenau und die Ilmenauer Firma SIOS Meßtechnik GmbH hatten innerhalb des EU-Projektes die zentrale Aufgabe, einen von drei Versuchsständen einer Nano-Koordinaten- Messmaschine zu entwickeln und zu bauen. Auf der Basis ihrer bestehenden Nanopositionier- und Nanomessmaschine der ersten Generation entwickelten die Ilmenauer Wissenschaftler die NMM-2, die im Nanobereich noch präziser arbeitet und erneut weltweit Standards setzt. Die Präzision dieses supergenauen Gerätes entspricht dem Aufspüren eines Gegenstandes mit dem Durchmesser eines Haares im gesamten, 25 Quadratkilometer großen Großraum München bis in eine Höhe von 5000 Metern.
Integriertes Mikroskop
Gemeinsam mit der Göttinger Firma für Fertigungsmesstechnik Mahr entwickelten die Ilmenauer Forscher ein neues UV-Weißlichtmikroskop und integrierten es in die Nanomessmaschine. Die im Vergleich zu herkömmlichen optischen Sensoren deutlich verbesserte Auflösung macht es nun möglich, wesentlich kleinere Mikroobjekte als bisher zu detektieren und zu messen. Ein in Spanien entwickelter Miniaturdreh- und Kipptisch, der in die NMM-2 integriert wurde, ermöglicht Messungen im Mikro- und Nanobereich, die bisher nicht denkbar waren, beispielsweise an extrem steilen Kanten.
15.07.2011
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